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格隆匯2月14日丨上海新陽(300236)(300236.SZ)公布，為了進一步鞏固在國內半導體材料行業的領先地位，實現我國集成電路關鍵工藝化學材料的自主可控，公司擬與上海化學工業區管理委員會、上海化學工業區發展有限公司簽訂《投資意向協議》，變更全資子公司上海芯刻微材料技術有限責任公司注冊于上海化學工業區，并啟動位于上海化學工業區的項目(以下簡稱“項目”)建設，該項目主要用于開發集成電路關鍵工藝材料。經初步測算，該項目總投資金額約為5.8億元人民幣，占地約104畝。

項目預計年產500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠；年產10000噸光刻膠稀釋劑；年產5000噸高選擇比氮化鈦刻蝕液系列產品；年產15000噸干法蝕刻清洗液系列產品。項目擬于2023年取得施工許可證，2025年底前竣工，2026年6月底前投產。

關鍵詞： 集成電路 上海新陽 工藝化學 施工許可證